高纯水是指25℃时电导率小于0.1 μs/cm和残余含盐量小于0.3 mg/L，并去除了非电介质的微量细菌、微生物、微粒等杂质的水。制备方法有蒸馏、膜分离、离子交换和灭菌。主要用于电子和微电子工业，也用于食品、造纸、医药、电子、核工业等行业。

预处理。主要是除去悬浮物、有机物，常用的方法有砂滤、膜过滤、活性炭吸附等。

脱盐。主要是除去各种盐类，常用的方法有电渗析、反渗透、离子交换等。

后处理。主要是除去细菌、微颗粒，常用的方法有紫外杀菌、臭氧杀菌、超过滤、微孔过滤等。

在水处理过程中为了可以阻截较小颗粒物，所以纤维过滤柱孔径不能超过5um，它起着保证进水清洁和延长下游部件使用寿命的重要作用。使用泵在纤维柱出水口进行增压，让增压后的水进入活性碳柱。广泛使用的活性碳是一种吸附剂，它可以吸附水中存在的无机物和有机物;不过它的吸附能力对不同的物质也是存在差异的。

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