超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程，超纯水在平时的应用主要在以下场合。

石油化工行业：循环水、污水深度处理、化工产品制造等。

制药行业：输液、针剂度、片剂、生化制品、医药用生化纯化水设备、设备清洗等。

电子问工业：冶金、铜业、集成电路、硅晶片、显示管等电子元件冲洗等。

锅炉行业：除氧水、答除盐水、锅炉水软化等。

食品工业：饮用纯净水、饮料、啤酒、白内酒等用水海水、苦咸水淡化等。

电镀行业容：汽车配件电镀、工业及电子产品镀金、镀银、镀铬等用水。